Ürün Genel Bakış
Sıvı azot ile soğutma teknolojisi sayesinde işlem sırasında oluşabilecek termal hasar minimum seviyeye indirilerek numunenin yapısal bütünlüğü korunur. Sıvı azot tüketimini optimize eden tasarımı, uzun süreli soğutma işlemlerinin verimli bir şekilde gerçekleştirilmesine olanak tanır. Numune, sıvı azot içerisinde hızlı bir şekilde soğutulup kontrollü olarak oda sıcaklığına geri getirilebilir ve özel tasarımı sayesinde parçaların güvenli biçimde ayrılması sağlanır. Ayrıca sistem, parlatma aşamasından mikroskobik gözleme kadar tüm sürecin numunenin havayla temas etmeden gerçekleştirilmesine imkân tanıyarak oksidasyon ve çevresel etkileri en aza indirir. Bu özellikleriyle hassas ve sıcaklığa duyarlı numunelerin hazırlanması ve analizinde güvenilir sonuçlar sunar.
Ürün Öne Çıkan Özellikleri
Soğutma Etkisi
Numune: Galvanizli çelik (demir) numunesi.
Normal frezeleme (soğutma olmadan) işleminde, demir ile çinko arasındaki sınır bölgesinde belirgin boşluklar oluşurken, soğutmalı işlemde bu boşluklar gözlenmez.
Sıcaklık kontrol mekanizması (opsiyonel) kullanılarak soğutma
Numune: Silisyum (Si) wafer bağlama yüzeyi.
Normal frezeleme (soğutma olmadan) işleminde, bağlayıcı malzeme ısıl hasar nedeniyle deforme olur ve büyük boşluklar oluşur. -150 °C'de ise aşırı soğutma meydana gelir; bağlayıcı ile silisyum (Si) wafer yüzeyi arasındaki sınırda boşluklar gözlemlenebilir.
Soğutma sıcaklığı kontrolü kullanılarak hazırlanan numunede ise herhangi bir boşluk oluşmaz ve numune yapısı korunur.
Aralıklı işleme, soğutma ve sıcaklık kontrollü soğutma fonksiyonları, farklı özelliklere sahip çok çeşitli iş parçalarının güvenilir şekilde hazırlanmasına olanak tanır.
Proses İzleme Fonksiyonu
Kesit frezeleme işleminin durumu, entegre CCD kamera sayesinde gerçek zamanlı olarak izlenebilir. Ayrıca görüntü büyütmesi ihtiyaca göre ayarlanabilir, böylece işleme süreci daha hassas ve kontrollü bir şekilde takip edilebilir.
Antistatik Kaplama Fonksiyonu
Opsiyonel iyon demeti sputter kaplama fonksiyonu sayesinde ince ve homojen kaplamalar oluşturulabilir. Yüksek granüler yapı kalitesi sunan bu kaplamalar, özellikle EBSD (Elektron Geri Saçılım Kırınımı) gibi desen tanımanın gerekli olduğu analiz uygulamaları için idealdir.
Planar İyon Frezeleme Tutucu
İyon demeti, numune yüzeyine düşük bir açıyla uygulanarak yüzey tabakasındaki kirlenme ve hasarlı bölgelerin giderilmesini, aynı zamanda yüzeyin düzgünleştirilmesini sağlar. Bu özellik, seçici dağlama (selective etching) uygulamaları için de ideal bir çözüm sunar.
Kesit Hazırlama Kiti (Cross Section Preparation Kit)
Bu kit, numunenin döndürülerek iyon demeti ile frezelenmesini sağlayan bir aksesuardır ve Planar İyon Frezeleme Tutucu ile birlikte kullanılır. Gözenekli malzemeler, tozlar ve lifli yapılar gibi frezeleme sırasında çizgilenmeye (streaking) eğilimli numunelerde yüksek kaliteli ve düzgün kesitlerin hazırlanmasını mümkün kılar.
Teknik Özellikler
Teknik Özellik | Değer |
|---|---|
İyon hızlandırma gerilimi | 2 – 8 kV |
İyon demeti genişliği | 500 µm (yarı maksimum tam genişlik – FWHM) |
Frezeleme hızı | 500 µm/saat (2 saatlik ortalama, 8 kV hızlandırma gerilimi, Si numune, kenardan 100 µm mesafede) |
Numune tutucusunun minimum soğutma sıcaklığı | -120 °C veya daha düşük |
Numune soğutma süresi | 8 saat veya daha uzun |
Soğutucu tank kapasitesi | Yaklaşık 1 L |
Maksimum numune boyutu | 11 mm (G) × 8 mm (D) × 3 mm (Y) |
Tabla hareket aralığı | X ekseni: ±6 mm, Y ekseni: ±2,5 mm |
Numune sabitleme yöntemi | Klipsli |
Numune frezeleme salınım açısı | ±30° (Patent US4557130) |
İzleme kamerası büyütmesi | Yaklaşık ×20 – ×100 (6,5 inç ekran) |
Hava izolasyon sistemi | Transfer kabı |
Hava izolasyon yöntemi | Hazne gaz ortamına alınır, transfer kabı kapakla kapatılır ve numune hava ile temas etmeden kaba aktarılır. |
Kullanım | Dokunmatik ekran, 6,5 inç ekran |
Gaz | Argon gazı (kütlesel akış kontrolörü ile debi kontrollü) |
Basınç göstergesi | Penning vakum göstergesi |
Ana vakum pompası | Türbomoleküler pompa |
Yardımcı vakum pompası | Rotary pompa |
Ana ünite boyutları ve ağırlığı | Yaklaşık 670 × 720 × 530 mm (G × D × Y), yaklaşık 73 kg |
Rotary pompa boyutları ve ağırlığı | Yaklaşık 120 × 288,5 × 163 mm (G × D × Y), yaklaşık 9,3 kg |
Kurulum Gereksinimleri
Gereksinim | Değer |
|---|---|
Güç kaynağı | Tek faz 100–120 V ±%10, 50/60 Hz, 0,6 kVA |
Topraklama | 100 Ω veya daha düşük |
Argon gazı | Basınç: 0,15 ± 0,05 MPa (1,0–2,0 kgf/cm²), Saflık: %99,9999 veya üzeri (Argon tüpü ve regülatörü kullanıcı tarafından temin edilmelidir.) Bağlantı: JIS B0203 Rc1/4 |
Ortam sıcaklığı | 15 – 25 °C |
Bağıl nem | %60 veya daha düşük |
Not: Teknik özellikler önceden haber verilmeksizin değiştirilebilir.