Ürün Genel Bakış
Farklı Wafer Türlerinin Taşınması İçin Gelişmiş ve Güvenilir Yükleyici
Nikon'un NWL Serisi, 6 inç (150 mm) ve 8 inç (200 mm) çapındaki, isteğe bağlı olarak 100 mikron kalınlığa kadar ince waferları güvenli ve hassas bir şekilde aktarabilen üstün performanslı yarı iletken wafer yükleyicilerinden oluşur. Bu sistemler, waferların Nikon Eclipse L200N ve LV150N mikroskoplarına veya NEXIV VMZ-S video ölçüm sistemine otomatik olarak aktarılmasını sağlar.
NWL200 Serisi – IC İnceleme Mikroskopları İçin Wafer Yükleyiciler
Nikon'un üstün ve özgün teknolojisi sayesinde NWL200 Serisi, 100 µm kalınlığa kadar ince waferları yükleyebilen ilk inceleme mikroskobu wafer yükleyici serisi olarak öne çıkar. Yarı iletken endüstrisindeki birçok uygulama için yüksek verimlilik (high throughput) ve güvenilir inceleme performansı sunar.
Ürün Öne Çıkan Özellikleri
Yarı İletken Üretiminde Yüksek Güvenilirlik
Güç kaynağının beklenmedik şekilde kesilmesi durumunda, makro kolun (macro arm) vakumlu tutucusu (vacuum chuck) aktif kalmaya devam eder. Bu sayede wafer güvenli bir şekilde çıkarılabilir ve olası hasarların önüne geçilir.
Makro İnceleme Fonksiyonları
Yarı iletken waferın ön yüzey deseni, arka çevre (kenar) bölgesi ve merkez bölgesinin incelenmesi desteklenmektedir. Waferın dönme hızı ve eğim açısı, otomatik veya manuel olarak ayarlanabilir.
Maksimum Verimlilik İçin Tasarlanmıştır
Hızlı wafer kaset kaldırma mekanizması ve temassız merkezleme sistemi, waferların hızlı ve hassas bir şekilde hizalanmasını sağlar. Çok kollu yükleme sistemi sayesinde waferların yüklenmesi ve boşaltılması en yüksek hassasiyetle gerçekleştirilerek maksimum işlem verimliliği elde edilir.
Ergonomik Tasarım
NWL200, kolay kullanım ve rahat kontrol sağlayacak şekilde ergonomik olarak tasarlanmıştır. 35° sola konumlandırılmış tasarımı sayesinde waferın kaset yuvasındaki (in-slot) konumunun görülmesi ve kasetin tamamen değiştirilmesi kolay ve pratik bir şekilde gerçekleştirilebilir.
Ürün Broşürleri
Teknik özetleri, ürün tanıtımlarını ve indirilebilir broşürleri bu alandan görüntüleyebilirsiniz.
