Jeol JIB-4700F SEM-FIB Taramalı Elektron Mikroskobu

Yeni ve karmaşık nanoyapılara sahip malzemelerin geliştirilmesindeki ilerlemeler, olağanüstü çözünürlük, hassasiyet ve verimlilik sunan FIB-SEM sistemlerine olan ihtiyacı artırmaktadır. Bu gereksinime yanıt olarak JEOL, farklı numunelerde morfolojik gözlem, elementel analiz ve kristalografik analizlerin gerçekleştirilmesi için JIB-4700F Multi Beam System'i geliştirmiştir.

JIB-4700F, hibrit konik objektif lensi, GENTLEBEAM™ (GB) modu ve in-lens dedektör sistemi sayesinde 1 kV gibi düşük hızlandırma voltajında 1,6 nm garantili çözünürlük sunar. Maksimum 300 nA prob akımına sahip elektron demeti üreten in-lens Schottky emisyonlu elektron tabancası ile donatılan bu yeni nesil sistem, yüksek çözünürlüklü gözlemler ve hızlı analizler gerçekleştirilmesine olanak tanır. FIB kolonu ise, numunelerin hızlı iyon aşındırma ve işlenmesi için 90 nA'ya kadar maksimum prob akımına sahip yüksek akım yoğunluklu Ga iyon demeti kullanmaktadır.

FIB ile yüksek hızda kesit hazırlama işlemi gerçekleştirilirken, aynı anda EDS (Enerji Dağılımlı X-ışını Spektroskopisi) ve EBSD (Elektron Geri Saçılım Kırınımı) kullanılarak yüksek çözünürlüklü SEM gözlemleri ve hızlı analizler yapılabilir. Ayrıca, kesit hazırlama işlemi sırasında belirli aralıklarla otomatik olarak SEM görüntüleri kaydeden üç boyutlu analiz fonksiyonu, JIB-4700F'in standart özelliklerinden biri olarak sunulmaktadır.

Yüksek Çözünürlüklü SEM Gözüntüleme

Manyetik/elektrostatik hibrit konik objektif lens, GENTLEBEAM™ (GB) modu ve in-lens dedektör sayesinde 1 kV düşük hızlandırma voltajında 1,6 nm garantili çözünürlük elde edilir.

Hızlı Analiz

In-lens Schottky emisyonlu elektron tabancası ve açıklık açısı kontrol lensi kombinasyonu sayesinde, yüksek prob akımlarında dahi yüksek çözünürlük korunarak hızlı analizler gerçekleştirilebilir.

Yüksek Hızlı İşleme

Yüksek güçlü Ga iyon demeti kolonu, numunelerin hızlı bir şekilde işlenmesini ve iyon aşındırma işlemlerinin yüksek verimlilikle gerçekleştirilmesini sağlar.

Gelişmiş Dedektör Sistemi

Yeni geliştirilen in-lens dedektörlerden oluşan eş zamanlı algılama sistemi sayesinde, 4 adede kadar dedektörden alınan görüntüler gerçek zamanlı olarak aynı anda izlenebilir.

Çok Yönlü Kullanım

JIB-4700F, EDS, EBSD, kriyo transfer sistemleri, soğutmalı numune tablaları (cooling stages), hava yalıtımlı transfer sistemleri ve daha birçok isteğe bağlı aksesuar ile uyumludur.

Üç Boyutlu Gözlem ve Analiz

Yüksek çözünürlüklü SEM ile uygun opsiyonel analiz ünitelerinin birlikte kullanılması sayesinde, görüntüler ve analiz verileri üç boyutlu olarak görselleştirilebilir ve analiz edilebilir.

Tabla Bağlantı (Stage Linkage) Fonksiyonu

Atmosferik numune alma sistemi (opsiyonel) ve stage linkage fonksiyonu sayesinde, TEM (Geçirimli Elektron Mikroskobu) numuneleri kolay ve güvenli bir şekilde sisteme aktarılabilir.

Görüntü Üst Üste Bindirme Sistemi

Atmosferik numune alma sistemi ile elde edilen optik mikroskop görüntüsünün, FIB görüntüsü üzerine bindirilmesi sayesinde FIB işleme noktasının belirlenmesi çok daha kolay hale gelir.