Jeol JSM-7610FPlus FE-SEM Taramalı Elektron Mikroskobu

Termal, Analitik FESEM

JEOL JSM-7610F FEG-SEM, tüm uygulamalar için çeşitli prop akımları ile ultra yüksek çözünürlük sağlamak için iki kanıtlanmış teknolojiyi - yarı in-lens dedektörlü elektron kolonu ve in-lens Schottky alan emisyon tabancasını bir arada barındırmaktadır (1pA den 200 nA ve daha üst akımlarda). JSM-7600F, nanometre yapılarının ince yüzey morfolojisini gözlemlemeyi mümkün kılan, 1 nm çözünürlük ve benzersiz kararlılık ile gerçek 1.000.000X büyütme sunar.

JSM-7610F sistemine, ikincil electron dedektörü, geri saçılım elektron dedektörü, EDS, WDS, EBSD, CL ve daha fazlası için tam bir dedektör setini başarıyla entegre edilmiştir. Nanoteknoloji, malzeme bilimleri, biyoloji, kriyo mikroskopi, litografi ve kompozisyonel ve yapısal analiz için en üst düzey SEM sistemidir. Büyük numune haznesine 200 mm çapına kadar numune yüklenebilir.

• In-Lens Termal FEG.

• Ultra yüksek çözünürlük.

• Diyafram açısı kontrol lensi hem analiz hem de görüntüleme modlarında seçilen yüksek veya düşük akımlarda spot boyutunu optimize eder.

• Çeşitli analitik amaçlar için (WDS, EDS, EBSD, CL vb.) 200 nA'a (15 kV'de) kadar yüksek prop akımı.

• Kullanıcı tarafından seçilebilen ikincil elektron ve geri saçılım elektron görüntüsü bileşimini sağlayan dahili r-filtresi.

• Üst yüzey görüntüleme, düşük elektron demet hasarı ve örnek üzerinde yüklenme etkisini azaltmak için Gentle Beam modu.

• Enerji tasarrufu için eko tasarım.

• Büyük numune haznesi (200 mm çaplı numune).

• Ultra temiz vakum ortamı.

• Ultra yüksek uzamsal çözünürlük.

• Lens İçi Termal Alan Emisyon Tabancası.

• Hem analiz hem de görüntüleme için hem yüksek hem de düşük akımlarda spot boyutunu otomatik olarak optimize etmek için diyafram açısı kontrol lensi (ACL).

• Çeşitli analitik teknikler (WDS, EDS, EBSD, CL, vb.) İçin 200 nA'ya (15 kV'da) kadar yüksek prob akımı.

• Kullanıcının seçebileceği ikincil elektron ve geriye saçılmış elektron görüntüleri karışımı sağlayan r filtresi.

• Üst yüzey görüntüleme, azaltılmış ışın hasarı ve şarj bastırma için Nazik Beam modu.

• Çok düşük enerjili ve çok düşük açılı ters saçmalı elektronları tespit etmek için standart bir LABE dedektörü.

• Enerji tasarrufu için eko tasarım.

• Büyük numune odası (200 mm çaplı numune).

Uygulamalar Notlar

• Büyütme Üzerine Bir Not

• Açıklık Açısı Kontrol Merceği

• Nazik Kiriş - Alan Emisyonu ile Düşük Voltajı Artırma SEM

• Nanopix ile SEM'de Çözünürlük

• KÖK-in-SEM

• Hava İzole Transfer Sistemi

• Elektron Uçuş Simülatörü

• Elektron Aynası - numune şarjı arkadaşınız olduğunda

• Düşük maliyetli STEM

• Kısa WD, Düşük kV BSE

• Stereomikroskopi - 3. boyut için arama

• Neden SEM için CryoTransfer Sistemi Kullanmalı?

Makaleler ve Bildiriler

• FE-SEM'de Yüksek Sıcaklık Protokolleri Aduro Sistemini Kullanarak Malzemelerin EBSD Analizi

• Hata Analizi: Eski ve Yeni

• FE SEM'de Çok Gözlü Görüntüleme

• SEM Teknolojisi, Enerji Araştırmalarını Geliştiriyor

• Katodoluminesans Üzerine Yeni Işık Tutmak - Bir LV Perspektifi

• Düşük kV Görüntüleme Üzerine Bazı Düşünceler