Ürün Genel Bakış
JBX-9500FS, spot ışın, Vektör tarama ve adım ve tekrar aşaması içeren bir elektron ışını litografi sistemidir. Işın boyutunu geniş ölçüde değiştirebilen sistem, temel eleman araştırmalarından optik elemanların üretimini test etmeye kadar yüksek hızlanan voltaj maruziyeti için maskeler için araştırma ve geliştirmeye kadar çok yönlüdür. Dinamik düzeltme sistemi ışın sapmasından kaynaklanan bulanıklığı ortadan kaldırır.
Teknik Özellikler
Işın Şekli | Yer |
Hızlanma Gerilimi | 100 kV / 50 kV |
Silah Verici | ZrO / W (Schottky) |
İşlenecek Parça Boyutu | 178 mm kareye kadar |
Işın Boyutu | 4 ila 200 nm (100 kV) |
Yüzey Boyutu | 300mm ø |
Daha Fazla Bilgi
İletişime Geçin