Ürün Genel Bakış
Döner Sensörler JEOL'un orijinal ürünleridir. Bu Döner Sensör, kristal salınım tipi film kalınlığı kontrolörü için kullanılır ve vakum biriktirme işleminde bir birikme oranını ve film
kalınlığını izlemek için kullanılır. Döner Sensörün kafasına 6 veya 12 kristal eklenir. Bir kristal arızası meydana geldiğinde, kristal otomatik olarak hareket eder ve yeni kristal kullanarak sürekli buharlaşma işlemini mümkün kılar. Algılama deliği sabit bir konumdadır, bu nedenle her kristal hareketinde takım faktörünün değerinin değiştirilmesine gerek yoktur. Uzun
süreli ve kalın veya çoklu film kaplama işlemi için kullanışlıdır. 2 tip sensör kafamız, 180 ° (düz) tip ve 45 ° tipimiz var.
(A) Döner Sensör başlığı | (B) Döner Sensör (Gövde) | (C) Elektromanyetik valf kiti | |||
|---|---|---|---|---|---|
spec | model | Uzunluk * | model | spec | model |
180 ° | BS-04120SSH | 200 mm | BS-04010SSR | 5V | BS-04160KIT |
300 mm | BS-04020SSR | ||||
350 mm | BS-04030SSR | ||||
400 mm | BS-04040SSR | ||||
450 mm | BS-04050SSR | ||||
480 mm | BS-04060SSR | ||||
45 ° | BS-04130SSH | 500 mm | BS-04070SSR | 24V | BS-04170KT |
540 mm | BS-04080SSR | ||||
Uzunluk: 545 mm | BS-04090SSR | ||||
580 mm | BS-04100SSR | ||||
650 mm | BS-04110SSR | ||||
* Sensör kafası dahil uzunluk kısmı vakum odasına yerleştirilir | |||||
Döner Sensör başlığı (180 °) | + | Döner Sensör (200mm) | + | Elektromanyetik valf kiti (5V) |
BS-04120SSH | BS-04010SSR | BS-04160KIT |