Ürün Genel Bakış
Yeni Nesil Verimlilikle Kalite Kontrol Ölçümleri
Nikon NEXIV VMF-K Serisi, gelişmiş konfokal optik sistemi ile geleneksel optik ölçüm sistemlerini bir üst seviyeye taşır. Ölçüm hızını artırmak amacıyla geliştirilen VMF-K Serisi, farklı malzemelerin ve bileşenlerin daha önce mümkün olmayan bir verimlilik ve hassasiyetle analiz edilmesini sağlar.
NEXIV VMF-K Serisi; yüksek kontrastlı yüzeyler, şeffaf malzemeler ve karmaşık numune geometrileri gibi ölçümü zor uygulamaların üstesinden gelir. Böylece daha önce elde edilmesi güç olan ayrıntılı ölçüm verileri güvenilir şekilde elde edilebilir.
Sistemin entegre 2D ve 3D ölçüm yetenekleri, geleneksel ölçüm yöntemlerine kıyasla denetim sürelerini önemli ölçüde azaltır. Bu sayede kalite kontrol süreçleri çok daha hızlı, kapsamlı ve verimli bir şekilde gerçekleştirilebilir.
Ürün Öne Çıkan Özellikleri
Yüksek Hızlı Ölçüm
NEXIV VMF-K Serisi, 2D ve yükseklik ölçümlerini tek bir sistemde birleştirerek önceki modellere kıyasla 1,5 kat daha yüksek ölçüm verimliliği sağlar. Gelişmiş konfokal optik sistemi, görüş alanı içerisinde 2D ve yükseklik ölçümlerinin eş zamanlı olarak gerçekleştirilmesine olanak tanır. Böylece ölçüm hassasiyetinden ödün vermeden ölçüm süreleri önemli ölçüde kısaltılır.
Çok Yönlü Uygulama Desteği
Nikon NEXIV VMF-K Serisi; prob kartları (probe card), bond telleri (bonding wire) ve diğer yarı iletken bileşenler dahil olmak üzere çok çeşitli parçaların hassas ölçümünü gerçekleştirebilir. Bu çok yönlü yapı, sistemi yarı iletken sektöründe kapsamlı kalite kontrol ve denetim uygulamaları için vazgeçilmez bir çözüm haline getirir. Birden fazla ölçüm işlemini tek bir sistemde birleştirerek süreçleri sadeleştirir, verimliliği artırır ve kalite güvence operasyonlarını hızlandırır.
Yarı İletken Uygulamaları İçin Gelişmiş Destek
Nikon NEXIV VMF-K Serisi, standart olarak 45× objektif lens ile sunularak wafer düzeyinde paketleme (Wafer-Level Packaging - WLP) ölçümlerini destekler. Yüksek büyütme kapasitesi sayesinde ultra ince yapıların hassas şekilde incelenmesini mümkün kılar. Bu özellik, giderek daha küçük boyutlara sahip yarı iletken bileşenlerde kalite kontrolün doğruluğunu ve güvenilirliğini artırmak için kritik önem taşır.
Uzun Ölçü Mesafelerinde Hassas Ölçüm
Nikon NEXIV VMF-K Serisi, görüş alanı sınırlarını aşan uzun ölçü mesafelerini yüksek hassasiyetle ölçebilir. Bu özellik; uzun mesafeli konum doğruluğu ve koordinat sistemi ölçümleri gerektiren yarı iletken bileşenlerin ölçüm uygulamaları için önemli avantaj sağlar.
Karşıt Kontrastlı Numunelerde Kararlı Ölçüm
Nikon NEXIV VMF-K Serisi, gelişmiş konfokal optik sistemi sayesinde yüksek kontrastlı numunelerde kararlı ve güvenilir ölçümler gerçekleştirir. Parlaklık veya yansıtıcılık farklılıklarının fazla olduğu numunelerde dahi net görüntüler ve yüksek doğrulukta ölçüm sonuçları elde edilmesini sağlar.
Yüksek Şeffaflığa Sahip ve İnce Numunelerin Ölçümü
Nikon NEXIV VMF-K Serisi, optik ölçüm sistemlerinde ölçülmesi zor olan yüksek şeffaflığa sahip ve ince numuneleri yüksek doğrulukla ölçebilir. Bu sayede metal yüzey filmleri, yarı iletken rezistleri ve benzeri şeffaf veya ince yapıdaki numunelerin ölçümünde üstün performans sunarak farklı uygulamalardaki kullanım alanını genişletir.
Teknik Özellikler
Özellik | VMF-K6555 |
|---|---|
Ölçüm Kafası | Standart Kafa (Type-S), Yüksek Büyütmeli Kafa (Type-H), 45× Yüksek Büyütmeli Kafa |
Optik Büyütme | 1.5×, 3.0×, 7.5×, 15×, 30×, 45× |
Çalışma Mesafesi | 24 mm (1.5×, 3.0×), 5 mm (7.5×), 20 mm (15×), 5 mm (30×, 45×) |
Konfokal Optik (Yükseklik Ölçümü) | Maksimum tarama yüksekliği: 1 mm |
Görüş Alanı (FOV) | 7,80 × 5,82 mm • 3,90 × 2,91 mm • 1,56 × 1,17 mm • 0,78 × 0,58 mm • 0,39 × 0,29 mm • 0,26 × 0,19 mm |
Yükseklik Ölçüm Tekrarlanabilirliği (2σ) | 0,6 µm • 0,35 µm • 0,25 µm • 0,25 µm • 0,2 µm • 0,2 µm |
Yükseklik Çözünürlüğü | 0,025 µm / 0,01 µm |
Konfokal Işık Kaynağı | Yeşil LED |
2D Ölçüm Büyütme Sistemi | Motor kontrollü 5 kademeli zoom |
2D Görüş Alanı (FOV) | 7,81 × 5,86 mm – 0,52 × 0,39 mm3,91 × 2,93 mm – 0,26 × 0,20 mm1,56 × 1,17 mm – 0,10 × 0,078 mm1,27 × 0,95 mm – 0,099 × 0,074 mm0,63 × 0,47 mm – 0,049 × 0,037 mm |
Aydınlatma | Alt aydınlatma (Diascopic), koaksiyel üst aydınlatma (Coaxial Episcopic) ve halka aydınlatma |
2D Işık Kaynağı | Beyaz LED |
Otomatik Odaklama | TTL Laser AF, Image AF |
Güç Kaynağı | AC 100–240 V ± %10, 50/60 Hz |
Güç Tüketimi | 5,5 A – 3 A |
Güvenlik Standardı | SEMI S2 / S8 uyumlu* |
Özellik | VMF-K6555 |
|---|---|
XYZ Hareket Mesafesi | 650 × 550 × 150 mm |
Doğruluk Garantili Taşıma Kapasitesi | 30 kg |
Maksimum İzin Verilen Hata (L = Ölçüm Uzunluğu, mm) | EUX,MPE / EUY,MPE: 1,2 + 4L/1000 µmEUXY,MPE: 2,0 + 4L/1000 µmEUZ,MPE: 1 + L/1000 µm |
Minimum Okuma Değeri | 0,01 µm |
Ana Gövde ve Tabla Boyutları (G × D × Y) | 1198 × 1640 × 1973 mm |
Ana Gövde Ağırlığı | Yaklaşık 800 kg |
Kontrol Ünitesi Boyutları | 190 × 450 × 440 mm |
Kontrol Ünitesi Ağırlığı | Yaklaşık 14 kg |
Önerilen Kurulum Alanı (G × D) | 3200 × 3300 mm |
Minimum Kurulum Alanı (G × D) | 2500 × 1900 mm |
Notlar
SEMI yönergelerine uygun şekilde kurulduğunda VMF-K Serisi, SEMI S2/S8 standartlarına uygundur.
Önerilen kurulum alanı, bakım için tavsiye edilen çalışma boşluğunu da içermektedir.
Boyutlar
Ürün Videoları
Cihazın çalışma yapısını, kullanım yaklaşımını ve örnek senaryoları videolar üzerinden inceleyin.
Ürün Broşürleri
Teknik özetleri, ürün tanıtımlarını ve indirilebilir broşürleri bu alandan görüntüleyebilirsiniz.
