Ürün Genel Bakış
NEXIV VMF-K Serisi, optik ölçüm performansını önemli ölçüde geliştirerek farklı numune türlerinde hassas 2D ve 3D ölçümler gerçekleştirilmesini sağlar.
Gelişmiş konfokal optik sistemi sayesinde yüksek kontrastlı ve şeffaf malzemeler güvenilir şekilde ölçülür; yüzey ve yükseklik analizleri yüksek doğrulukla gerçekleştirilir.
Karmaşık geometrilere ve ince detaylara sahip parçaların güvenilir şekilde incelenmesine olanak tanıyan bu sistem, özellikle yarı iletken üretimi ve minyatürleştirilmiş bileşenlerin üretim süreçlerinde yüksek hassasiyetli kalite kontrol uygulamaları için ideal bir çözümdür.
Ürün Öne Çıkan Özellikleri
Yüksek Hızlı Ölçüm
NEXIV VMF-K Serisi, 2D ve yükseklik ölçümlerini tek bir sistemde birleştirerek önceki modellere kıyasla 1,5 kat daha yüksek ölçüm verimliliği sağlar. Gelişmiş konfokal optik sistemi, görüş alanı içerisinde 2D ve yükseklik ölçümlerinin eş zamanlı olarak gerçekleştirilmesine olanak tanır. Böylece ölçüm hassasiyetinden ödün vermeden ölçüm süreleri önemli ölçüde kısaltılır.
Çok Yönlü Uygulama Desteği
Nikon NEXIV VMF-K Serisi; prob kartları (probe card), bond telleri (bonding wire) ve diğer yarı iletken bileşenler dahil olmak üzere çok çeşitli parçaların hassas ölçümünü gerçekleştirebilir. Bu çok yönlü yapı, sistemi yarı iletken sektöründe kapsamlı kalite kontrol ve denetim uygulamaları için vazgeçilmez bir çözüm haline getirir. Birden fazla ölçüm işlemini tek bir sistemde birleştirerek süreçleri sadeleştirir, verimliliği artırır ve kalite güvence operasyonlarını hızlandırır.
Yarı İletken Uygulamaları İçin Gelişmiş Destek
Nikon NEXIV VMF-K Serisi, standart olarak 45× objektif lens ile sunularak wafer düzeyinde paketleme (Wafer-Level Packaging - WLP) ölçümlerini destekler. Yüksek büyütme kapasitesi sayesinde ultra ince yapıların hassas şekilde incelenmesini mümkün kılar. Bu özellik, giderek daha küçük boyutlara sahip yarı iletken bileşenlerde kalite kontrolün doğruluğunu ve güvenilirliğini artırmak için kritik önem taşır.
Uzun Ölçü Mesafelerinde Hassas Ölçüm
Nikon NEXIV VMF-K Serisi, görüş alanı sınırlarını aşan uzun ölçü mesafelerini yüksek hassasiyetle ölçebilir. Bu özellik; uzun mesafeli konum doğruluğu ve koordinat sistemi ölçümleri gerektiren yarı iletken bileşenlerin ölçüm uygulamaları için önemli avantaj sağlar.
Karşıt Kontrastlı Numunelerde Kararlı Ölçüm
Nikon NEXIV VMF-K Serisi, gelişmiş konfokal optik sistemi sayesinde yüksek kontrastlı numunelerde kararlı ve güvenilir ölçümler gerçekleştirir. Parlaklık veya yansıtıcılık farklılıklarının fazla olduğu numunelerde dahi net görüntüler ve yüksek doğrulukta ölçüm sonuçları elde edilmesini sağlar.
Yüksek Şeffaflığa Sahip ve İnce Numunelerin Ölçümü
Nikon NEXIV VMF-K Serisi, optik ölçüm sistemlerinde ölçülmesi zor olan yüksek şeffaflığa sahip ve ince numuneleri yüksek doğrulukla ölçebilir. Bu sayede metal yüzey filmleri, yarı iletken rezistleri ve benzeri şeffaf veya ince yapıdaki numunelerin ölçümünde üstün performans sunarak farklı uygulamalardaki kullanım alanını genişletir.
Teknik Özellikler
Özellik | VMF-K3040 |
|---|---|
Ölçüm Kafası | Standart Kafa (Type-S), Yüksek Büyütmeli Kafa (Type-H), 45× Yüksek Büyütmeli Kafa |
Optik Büyütme | 1.5×, 3.0×, 7.5×, 15×, 30×, 45× |
Çalışma Mesafesi | 24 mm (1.5×, 3.0×), 5 mm (7.5×), 20 mm (15×), 5 mm (30×, 45×) |
Konfokal Optik (Yükseklik Ölçümü) | Maksimum tarama yüksekliği: 1 mm |
Konfokal Görüş Alanı (FOV) | 7,80 × 5,82 mm • 3,90 × 2,91 mm • 1,56 × 1,17 mm • 0,78 × 0,58 mm • 0,39 × 0,29 mm • 0,26 × 0,19 mm |
Yükseklik Ölçüm Tekrarlanabilirliği (2σ) | 0,6 µm • 0,35 µm • 0,25 µm • 0,25 µm • 0,2 µm • 0,2 µm |
Yükseklik Çözünürlüğü | 0,025 µm / 0,01 µm |
Konfokal Işık Kaynağı | Yeşil LED |
2D Ölçüm Büyütme Sistemi | Motor kontrollü 5 kademeli zoom |
2D Görüş Alanı (FOV) | 7,81 × 5,86 ~ 0,52 × 0,39 mm3,91 × 2,93 ~ 0,26 × 0,20 mm1,56 × 1,17 ~ 0,10 × 0,078 mm1,27 × 0,95 ~ 0,099 × 0,074 mm0,63 × 0,47 ~ 0,049 × 0,037 mm |
Aydınlatma | Alt aydınlatma (Diascopic), koaksiyel üst aydınlatma (Coaxial Episcopic) ve halka aydınlatma |
2D Işık Kaynağı | Beyaz LED |
Otomatik Odaklama | TTL Laser AF, Image AF |
XYZ Hareket Mesafesi | 300 × 400 × 150 mm |
Doğruluk Garantili Taşıma Kapasitesi | 20 kg |
Maksimum İzin Verilen Hata (L = Ölçüm Uzunluğu, mm) | EUX,MPE / EUY,MPE: 1,2 + 4L/1000 µmEUXY,MPE: 2,0 + 4L/1000 µmEUZ,MPE: 1 + L/1000 µm |
Minimum Okuma Değeri | 0,01 µm |
Güç Kaynağı | AC 100–240 V ± %10, 50/60 Hz |
Güç Tüketimi | 5,5 A – 3 A |
Ana Gövde ve Tabla Boyutları (G × D × Y) | 1146 × 1247 × 1973 mm |
Ana Gövde Ağırlığı | Yaklaşık 800 kg |
Kontrol Ünitesi Boyutları | 190 × 450 × 440 mm |
Kontrol Ünitesi Ağırlığı | Yaklaşık 14 kg |
Önerilen Kurulum Alanı (G × D) | 3150 × 3000 mm |
Minimum Kurulum Alanı (G × D) | 2500 × 1600 mm |
Güvenlik Standardı | SEMI S2 / S8 uyumlu* |
Notlar:
SEMI yönergelerine uygun kurulum yapıldığında sistem SEMI S2/S8 standartlarına uygundur.
Önerilen kurulum alanı bakım için gerekli çalışma boşluğunu da içermektedir.
Boyutlar
Ürün Broşürleri
Teknik özetleri, ürün tanıtımlarını ve indirilebilir broşürleri bu alandan görüntüleyebilirsiniz.
