Ürün Genel Bakış
Yüksek Güvenilirlik, Verimlilik ve Kullanım Kolaylığı
Küresel yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılan NEXIV video ölçüm sistemi, Nikon’un güvenilirliği kanıtlanmış NWL200 otomatik wafer yükleme sistemi ile entegre edilmiştir.
Ortaya çıkan VMZ-NWL200, üstün güvenilirlik ve yüksek verimlilik sunan yenilikçi bir otomatik ölçüm hücresidir. Süreç kontrolü için gerekli karmaşık işlemleri kolaylaştırmak amacıyla geliştirilen özel yazılım sayesinde kullanım oldukça basitleştirilmiştir. Elde edilen yüksek kaliteli ölçüm verileri üretim hattına daha hızlı geri aktarılır, böylece üretim verimliliği artırılır ve ürün randımanı (yield) en üst düzeye çıkarılır.
Ürün Öne Çıkan Özellikleri
Yüksek Güvenilirlik
VMZ-NWL200, ölçümleri otomatik ve tutarlı bir şekilde gerçekleştirerek operatörlerin farklı değerlendirmelerinden kaynaklanabilecek ölçüm farklılıklarını ortadan kaldırır. Ayrıca Nikon, optik ekipman üretimindeki uzmanlığını kullanarak denetlenen parçanın kenarlarını hassas şekilde algılamaya olanak tanıyan net ve yüksek kaliteli görüntüler sunar. Bu sayede güvenilir ve doğru ölçüm sonuçları elde edilir.
Yüksek Verimlilik
VMZ-NWL200 ile ölçüm işlemi tek bir tıklamayla başlatılabilir. Ayrıca sistem, ölçüm mikroskoplarına kıyasla 3 kata kadar daha yüksek ölçüm verimliliği sunar. Video ölçüm sisteminin sağladığı yüksek verimlilik, toplam sahip olma maliyetini (COO – Cost of Ownership) düşürerek işletmelere önemli maliyet avantajı sağlar.
Yüksek Kullanım Kolaylığı
Wafer grafikleri kullanıcı dostu arayüz (GUI) üzerinde görüntülendiğinden, operatör ölçülecek çipi yalnızca fare ile ilgili noktaya tıklayarak kolayca seçebilir. Bu sayede ölçüm işlemleri daha hızlı, pratik ve hatasız bir şekilde gerçekleştirilir.
Teknik Özellikler
Özellik | Değer |
|---|---|
Cihaz | Video Ölçüm Sistemi: NEXIV (VMZ-S3020 Type2, Type3, TypeTZ)Wafer Yükleyici: NWL200 |
Uyumlu Wafer *1 | Boyut: 6 inç, 8 inç (SEMI/JEIDA Standardı) |
Uyumlu Taşıyıcı (Carrier) | 6 inç: PA182-60MB-06XX (Entegris)8 inç: PA192-80M-06XX (Entegris) |
Çevrim Süresi (Throughput) *2 | 6 dakika 45 saniye |
Minimum Çizgi/Boşluk (L/S) | 500 line/mm |
Çalışma Ortamı Sıcaklığı | 19 – 26 °C |
Çalışma Ortamı Nemi | %70 RH'nin altında |
Boyutlar | 4125 × 3040 mm |
Besleme Gerilimi | AC 100–120 V / 200–240 V |
Besleme Frekansı | 50 Hz / 60 Hz |
Akım Tüketimi | 7.5 A / 3.7 A |
Vakum | -80 kPa |
Notlar
1: Satış öncesinde wafer transfer uygunluk değerlendirmesinin yapılması gereklidir.
2: Ölçüm süresi hariç, 25 waferın transfer süresini ifade eder.
Ürün Broşürleri
Teknik özetleri, ürün tanıtımlarını ve indirilebilir broşürleri bu alandan görüntüleyebilirsiniz.
